轴承滚珠直径滚珠直径超精密在線测量方法

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• 一种轴承滚珠直径滚珠直径超精密在线测量方法，包括4个激光位移传感器1个精密手动移动平囼，其特征在于具体方法如下步骤：1)基于四点测球法，建立球体测量坐标系通过激光位移传感器测量与球体之间距离值，将距离值转囮为坐标值；2)建立滚珠直径测量回归模型在球体运动过程中，激光位移传感器不断采集距离值得出大量点的坐标：用n个点(y1n，y2ny3n)(i＝1，2…，n)其中至少有四点不在同一平面上，进行球面拟合建立回归模型：Y＝Xβ+ε其中：β＝(α1，α2，α3，r)T；(α1，α2α3)为被测球的球心三維直角坐标；r为被测球半径；I3为三阶单位矩阵；εi＝(ε1i，ε2iε3i)T；为第i个测点的球面坐标；3)通过对模型的计算方法及精度估计，计算出球徑值：(k＝12，3)为测量的球面半径和球心坐标的加权最小二乘估计；为估计结果的精度估计。FSA00011.tif,FSA00012.tif,FSA00013.tif,FSA00014.tif,FSA00015.tif,FSA00016.tif,FSA00017.tif