工具类服务
编辑部专用服务
作者专用服务
准分子激光器性能测试技术研究
作为微电子光刻系统中的关键设备，193nm准分子激光器输出光谱、能量、光束参数以及寿命、稳定性与光刻系统成本，光刻质量、成品率、效率和设备利用率等密切相关，需要在投入使用前进行准确测试评估和使用过程中的实时监测控制。因此，本文针对准分子激光器输出各参数的高精度测量方法开展深入研究，提出测试方案，对测试装置的测量精度进行分析，并通过实验和数据处理方法对测试方案的可行性进行验证。　　
准分子激光器输出光谱特性测试方面，本文通过高分辨率中阶梯光栅光谱仪对准分子激光器输出光谱进行测量，测量精度达到0.02pm(FWHM)和0.1pm(E95)，并应用数学反卷积方法有效减小了光谱仪器衍射元件、有限孔径、系统像差等因素引起的光谱展宽。采用Fe原子灯在193nm附近的谱线对光谱测量仪器标定并在测量过程中实时监测由于环境和机械波动引起的波长漂移以修正绝对中心波长测量结果，使准分子激光器输出中心波长测量精度优于±0.1pm，波长稳定性测量精度达±0.01pm。另外提出一种高重复频率脉冲激光器单脉冲提取装置和同步时序控制方法，通过理论和实验验证了该方法的可行性。将该装置应用于准分子激光器输出光谱参数测量中，消除了由于多脉冲叠加对谱宽和波长稳定性测量结果的影响。　　
通过热释电能量计对光电探测器标定实现准分子激光器输出单脉冲能量、能量稳定性、剂量能量稳定性以及积分脉冲宽度的实时采集与分析。实验分析不同测试条件对能量和脉宽测量结果的影响。最终确定测试方案，即采用楔形镜或棱镜衰减器件对准分子激光器输出激光能量衰减，由聚焦透镜经散射元件后照射到光电探测器接收面，通过高速采集卡采集光电探测器信号，积分能量由能量计标定，最终获得准分子激光器输出能量参数。　　
基于国际标准ISO11146和ISO11670提出的测量方法对准分子激光器输出光束特性进行了测量，采用大面阵紫外光束诊断相机和紫外可见荧光转换器两种方法对激光器输出光束近场光斑尺寸和位置稳定性进行测量，比较测量结果，结果表明采用紫外光束诊断相机直接测量方法更能反应准分子激光器输出光束特性。本文采用布鲁斯特窗法和Rochon棱镜偏振器法测量准分子激光器输出光束偏振度，采用氟化钙基片作为布鲁斯特窗材料，通过实验和数据处理对两种方法的测量精度进行分析，两种方法的偏振度测量精度优于±1％。　　
采用透过率法、激光量热法和荧光光谱法对紫外级熔石英和氟化钙材料在193nm激光照射下的性能稳定性进行测量分析。通过ArF激光量热计测量不同激光重复频率时，不同厚度熔石英样品吸收随能量密度变化关系以及同一样品在不同能量密度时吸收损耗随激光重复频率变化关系，建立吸收模型，得到样品表面吸收、有效单、双光子吸收系数随激光频率变化关系以及与激光器重复频率无关的熔石英材料在193nm的单、双光子吸收系数。另外应用激光量热法测量了氟化钙样品吸收随能量密度变化关系，计算得到氟化钙样品在193nm激光照射下的有效线性吸收项和有效非线性吸收系数。　　
通过荧光光谱仪测量紫外级熔石英和氟化钙材料在193nm激光照射下激发荧光特性。结合其吸收损耗随激光频率和能量密度变化关系以及国内外在该领域研究现状简单分析了紫外级熔石英在193nm激光照射下与吸收有关的缺陷产生变化过程。给出紫外级熔石英材料在193nm激光长时间和高能量照射下性能下降的原因，为发展高性能深紫外光学元件提供有用信息。
学科专业：
授予学位：
学位授予单位：
导师姓名：
学位年度：
本文读者也读过
相关检索词
万方数据知识服务平台--国家科技支撑计划资助项目（编号：2006BAH03B01）(C)北京万方数据股份有限公司
万方数据电子出版社&& 激光技术
&&期刊基本信息
&创刊:1971年 & 双月刊&名称:激光技术&英文:Laser Technology&主管:中国兵器工业总公司&主办:西南技术物理研究所&承办:西南技术物理研究所&协办:华中科技大学光学与电子信息学院；清华大学光子与电子技术研究中心；北京理工大学光电学院；南京理工大学理学院&主编:侯天晋&编辑部:激光技术编辑部&ISSN:&刊号:CN 51-1125/TN&邮发:62-74&电话:028-&传真:028-&邮箱:&地址:成都市人民南路4段7号&邮编:610041&定价:25元/期&主页:
&&最新期刊
已出版(31)
已出版(33)
已出版(26)
已出版(32)
已出版(31)
已出版(34)
&&本期栏目(2017.5)
&选择下列全部论文 将选定结果：保存为一般参考文献格式保存为文本文件保存为XML文件保存为EndNote格式文件 &&&&光电对抗与强激光技术
&&&&&&：(浏览：59次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.632&&&&&&nbsp
&&&&光生物学与医学光子学
&&&&&&：(浏览：45次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.669&&&&&&nbsp
&&&&光通信与光信息技术
光子晶体光纤CO2气体传感器的研究
&&&&&&：(浏览：48次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.693&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：42次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.697&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：50次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.728&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：45次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.738&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：180次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.769&&&&&&nbsp
&&&&激光材料和光学元件
&&&&&&：(浏览：39次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.649&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：66次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.723&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：54次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.743&&&&&&nbsp
掺Yb3+铝硅酸盐玻璃纤芯的光子晶体光纤
&&&&&&：(浏览：165次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.759&&&&&&nbsp
&&&&激光物理与激光器件
&&&&&&：(浏览：53次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.644&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：44次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.654&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：43次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.680&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：47次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.708&&&&&&nbsp
&&&&激光与光电子技术应用
轴快流CO2激光器翅片管换热器强化换热研究
&&&&&&：(浏览：39次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.626&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：39次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.637&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：38次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.659&&&&&&nbsp
NH3的腔增强吸收光谱检测技术
&&&&&&：(浏览：52次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.664&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：49次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.675&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：43次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.684&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：38次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.688&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：51次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.703&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：49次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.718&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：48次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.734&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：145次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.749&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：153次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.754&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：160次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.764&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：25次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.1&&&&&&nbsp
&&&&综述与评述
&&&&&&：(浏览：42次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.619&&&&&&nbsp
&&&&&&：(浏览：45次) |
请注意：下载全文可能需要登录或支付相关费用
&&&&&& 激光技术 ，2017年第41卷第5期 pp.712&&&&&&nbsp
将选定结果：保存为一般参考文献格式保存为文本文件保存为XML文件保存为EndNote格式文件
暂未上传论文 ...
&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&
暂无任何数据...
&&动态信息
&&友情链接
&&&搜索选项
出版年份介于：
&并且符合以下组合条件的论文
我要查找标题：
&&&&&&&&&作者名：
&&&&&&作者单位：
&&&&&&&&&基金号：
&&&&& 指定DOI：
指定专题：
--请选择--
&&&&&&指定栏目：
--请选择--
激光物理和激光器件总目录激光与光电子技术总目次光通信与光信信技术强激光与光电对抗目录综述与评论光生物与医学光子学光电对抗与强激光技术光生物学与医学光子学脉冲功率技术激光材料与光学元件光通信与光信息技术激光材料和光学元件激光物理与激光器件激光与光电子技术应用材料与元件应用简报综述与评述测量和防护材料和元件测量与防护器件与技术应用综述、评述
指定页码查询：
&期 起始页码：
每页显示：& 登录/注册
您可以从小木虫客户端获取VIP通行码，无需登录继续浏览
STEP1扫描左侧二维码，下载新版客户端
（已安装客户端用户请无视）
STEP2登录页面下方获取VIP通行码
VIP通行码:
小木虫,学术科研互动社区,为中国学术科研免费提供动力
违规贴举报删除请联系客服电话： 邮箱：（全天候） 或者 QQ:
广告投放与宣传请联系 李想 QQ：
QQ：&&邮箱：
Copyright & 2001-, All Rights Reserved. 小木虫 版权所有
浏览器进程
打开微信扫一扫
随时随地聊科研}