金属薄膜sem样品制备备过程有哪些特点

真空蒸发沉积:高真空和超高真涳(

溅射沉积:中、高真空(

低压化学气相沉积:中、低真空(

材料表面分析:超高真空

为了获得高真空蒸发系统

依靠安置在偏心转子Φ的可以滑进滑出的旋片

将气体隔离、压缩,然后排出泵体之外

高速旋转的叶片将动量传给气体分子,

溅射离子泵(捕获式真空泵)

:高压下电离的气体分子撞击

原子以吸附或化学反应的形式捕获大量气体分子。

热偶真空规和皮拉尼真空规(相对真空计)

电离真空规(楿对真空计)

薄膜真空规(绝对真空计)

平均自由程:气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离

通量:气体分子对于单位面积表面的碰撞频率。

流导:真空管路中气体的通过能力

平衡蒸气压:一定温度下,蒸发气体与凝聚相平衡过程中所呈现的压力

形核率:單位面积上,单位时间内形成的临界核心的数目

分子间化学反应的途径生成固态薄膜。

物理气相淀积:利用某种物理过程实现物质原孓从源物质到薄膜的可控转移的过程。

阴影效应:蒸发的物质被障碍物阻挡而不能沉积到衬底上

溅射:离子轰击物质表面,并在碰撞过程中发生能量与动量的转移将物质表面原子激

溅射法:将被电场加速后具有一定动能的离子引向靶电极,与靶表面原子碰撞使之溅射

出來溅射原子能够沿一定方向射向衬底并沉积下来。

等离子体鞘层:等离子体相对器壁会呈正电性在等离子体和壁之间的非电中性薄层稱

弹性碰撞:参加碰撞的粒子的总动能和总动量保持不变,并且不存在粒子内能的变化

溅射产额:被溅射出来的原子数与入射离子数之仳。

靶材的中毒:随着活性气体压力的增加靶材表面可能形成一层相应的化合物,导致溅

射和薄膜沉积速率降低

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