橙河三维微纳金属探针的主要作鼡制造技术的诞生开创了新的应用领域,更激发了金属探针的主要作用制造的无限潜能.我们对所获得的技术成果充满信心,该项技术不仅填补30微米以下三维金属探针的主要作用复杂结构制造的行业空白,也在国际范围内达到了先进水平,为科研工作者探索微观世界提供了有力支持.

第 卷第 期 4 3 纳米加工工艺 Vol.4No.3 年 月 2007 6 Nano-processingTechnique June2007 几种納米加工技术的原理、特点及其应用* 赵保军, 王 英, 张亚非 (上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室, 微米纳米加笁技术国家级重点实验室, 上海 ) / 200030 摘 子、原子级这一方面对材料的性能参数和加工工 人类每一次加工和制造技术的发展,都带来 艺精度提出更高要求;另一方面也面临着“一个极 工业和社会文明的进步,将加工精度从微米级提 限问题” ,迫使人们去探索和认识微细加工的极 高到纳米级,使人类对自然的认识和改造深入到 限,研究基本的曝光过程,寻找更短波长的可用光 了一个更新的层次。全球范围内正在为建立适应 源,积极探索未来下一代新的集成电路产品应运 纳米尺度的新的集成方法和新的技术展开竞争, 而生的纳米加工技术的出现及发展,必将在微电 这些技術的突破将对信息产业和其它相关产业带 子学领域中引起巨大的技术开拓,传统的微电子 来一场深刻的革命,由此获得的经济价值将是难 [1