电可擦除可编程只读存储器如何擦除
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时间：2021-01-14 13:48
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闪速电可擦除只读存储器单元以及包含该单元的存储器阵列结构
本文公开了一种高密度闪速
单元以及包含该单元的存
有用于绝缘單元的场氧化层的衬底；形成于相邻
场氧化层之间的浮栅介质层其中该浮栅介质层
包括在形成于衬底上的源和漏之间并联连接的第
一介質层和第二介质层，并且第一介质层的厚度
大于第二介质层；形成于浮栅介质层上的浮栅；
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