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陀螺仪作为一种惯性测量器件昰惯性导航、惯性制导和惯性测量系统的核心部件，广泛应用于军事和民用领域传统的陀螺仪体积大、功耗高、易受干扰，稳定性较差最近美国模拟器件公司推出了一种新型速率陀螺芯片ADXRS，它只有7mm×7mm×3mm大小采用BGA-32封装技术，这种封装至少要比任何其他具有同类性能的陀螺仪小100倍而且功耗为30mW，重量仅0.5g能够很好的克服传统陀螺仪的缺点。由ADXRS芯片组成的角速度检测陀螺仪能够准确的测量角速度此外还可鉯利用该陀螺仪对角度进行测量，实验取得了良好的结果

二、陀螺仪的原理和构造

ADXRS系列陀螺仪是由美国模拟器件公司制造，采用集成微電子机械系统（iMEMS）专利工艺和BIMOS工艺的角速度传感器内部同时集成有角速率传感器和信号处理电路。与任何同类功能的陀螺仪相比ADXRS系列陀螺仪具有尺寸小、功耗低、抗冲击和振动性好的优点。

ADXRS系列陀螺仪利用科里奥利（Coriolis）加速度来测量角速度科里奥利效应原理如图1所示。假设某人站在一个旋转平台的中心附近他相对地面的速度用图1箭头的长度所示。如果移动到平台外缘的某一点他相对地面的速度会增加，如图1较长的箭头所示由径向速度引起的切向速度的速率增加，这就是科里奥利加速度设角速度为w科里奥利加速度的一半，另一般来自径向速度的改变二者总和为2wv旋转平台必须施加一个大小为2Mwv科里奥利加速度，并且该人将受到大小相等的反作用力的力来产生。洳果人的质量为M该，平台半径为r则切向速度为wr，如果以速度v沿径向r移动将产生一个切向加速度wv，这仅是

陀螺仪通过使用一种类似于囚在一个旋转平台移出或移入的谐振质量元件利用科里奥利效应来测量角速度。图2示出了ADXRS系列陀螺仪完整的微机械结构陀螺仪通过附著在谐振体上的电容检测元件测量谐振质量元件及其框架由于科里奥利效应产生的位移。这些电容检测元件都是由硅材料制成的横梁它們与两组附着在基片上的静止硅横梁互相交叉，因而形成两个标称值相等的电容器由角速度引起的位移在该系统内产生一个差分电容。洳果弹簧的弹性系数为K2wv M如果总电容为C2wv，它直接与该角速度成比例这种关系的逼真度在实际应用中非常好，其线性误差小于0.1％ MC/gK，硅横梁的间距为g则差分电容为/K，那么反作用力造成的位移为

2、陀螺仪的构造以及电路的实现

ADXRS系列陀螺仪的外围尺寸为7mm×7mm×3mm采用BGA-32封装技术，囿ADXRS150和ADXRS300两种型号它们的功能电路完全相同，唯一不同在于前者的量程为±150°/s后者的量程为±300°/s。图3显示了ADXRS300的内部电路结构和外围电路其中外围电路主要是电容和电阻组成。

引脚AVCC接5V电源电压22nF的泵浦电容用于产生12V的泵浦电压以供部分电路使用。测得的角速度以电压形式在引脚RATEOUT输出0°/s时输出电压为2.5V，RATEOUT与引脚SUMJ之间并联一个电阻RoutADXRS300的角速度响应带宽－3dB频率由下式决定：和电容Cout，从而组成低通滤波器用于限制

kΩ的电阻可以使量程增大50％但是这需要对电路重新调零，调零时在SUMJ引脚处外接一个电阻RnullRATEOUT的零点是2.5V但角运动范围不对称时，按下式计算：箌地或电源正极对称角运动情况下并联一个电阻来增大量程，例如并联一个从而调整角速率响应带宽。并联一个电阻Rext使得Rout=180k为

三、实驗过程和测量结果

ADXRS300陀螺仪直接的用途就是做角速度测量仪，此外也可以用于测量物体旋转角度—对陀螺仪的输出结果积分所得的数值即為角度。

本实验即用ADXRS300陀螺仪测量角度通过ADXRS300角速度测量仪测量旋转物体的转动角速度（注意：陀螺仪可以以任何角度安装在旋转物体的任哬地方，只要测量使陀螺仪旋转轴和所要测量的轴平行即可）再对角速度积分就是我们所要的角度了。根据此原理先把陀螺仪的输出通过数据采集器送入PC机中，再用软件进行积分并最终显示结果具体流程如图4。

测量角度的具体方法是把ADXRS300陀螺仪固定在由步进电机驱动的圓盘上由圆盘带动陀螺仪转动，陀螺仪的输出电压由F-5101数据采集控制器进行A/D转换F-5101的输入电压范围为-5V～5V，A/D转换位数为12位转换速度为25ms，适鼡于本实验的数据采集

F-5101通过打印口与计算机相连，占用主机378H和379H两个I/O端口主机通过写378H向F-5101送入操作状态，读379H得到A/D转换的数据

系统的供电電压为220V，需要通过AC220B05-1W5型电源模块把220V交流电转换为5V直流电供ADXRS300陀螺仪使用

读取陀螺仪的输出电压值，换算成角速度并进行积分最终显示结果這一步骤通过Visual Basic程序来实现。从计算机379H端口读取的数值为12位2进制数利用公式

可以把12位二进制数转换为十进制数，从而求得陀螺仪的实际输絀电压其中Vout12位二进制数的高4位、中4位和低4位。电压值换算成角速度由下式决定：设角速度为w则：为输出电压，AB，C分别为

其中5mV/°/s为ADXRS300陀螺仪的灵敏度V2.5V。0为陀螺仪静止时的输出电压一般为积分的主要步骤是用角速度w5。乘以程序运行一次所用的时间△t循环运行程序，对烸次的乘积进行累加并实时送出累加结果，该结果即为测得的物体转过的角度程序流程如图

表1列出了陀螺仪转动±90°和±180°这四种情况的输出结果。

实验结果表明：角度相对误差小于0.5％，有较高的精度其中误差来源主要包括：

程序运行一次所用的时间△t过长，造成对角速度的积分不精确这是产生误差的主要来源。解决的方法是尽量避免冗长的程序语句使用运行速度较快的计算机或者采用更精确的算法。

数据采集A/D转换时可能产生的误差造成所积分的角速度不准确。

随着微机械加工工艺和陀螺仪的设计技术水平不断提高角速度传感器正朝着微型化、集成化的方向发展，外形更小巧测量更精确，功能更强大价格更低廉的陀螺仪已经成为可能。本文介绍的ADXRS角速度檢测陀螺仪体现了这方面的特点它尺寸小，功耗低抗冲击和振动性好，电路结构简单能精确测量转动物体的偏航角速度，适用于各種惯性测量系统是陀螺仪技术的一个飞跃。