一、主要功能与技术指标：

1.电子源：采用浸没式肖特基场发射电子枪；

6.物镜设计:超级混合式物镜SHL；

7.样品台:5轴马达驱动

1、分辨率可达0.8nm，便于实现纳米材料微观结构的表征；

2、具备低电压扫描技术可在较小的束流下减小对样品的损坏；

3、配备快速型EBSD分析系统，配合稳定的束流高效实现样品晶体结构的表征。

3.配备背散射探头可实现成分像的表征；

4.配备日本电子氩离子截面抛光仪，可以实现复合材料易氧化材料等材料的截面抛光。