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一.直流磁控溅射
磁控溅射镀膜设备是在直流溅射阴极靶中增加了磁场，利用磁场的洛伦兹力束缚和延长电子在电场中的运动轨迹，增加电子与气体原子的碰撞机会，导致气体原子的离化率增加，使得轰击靶材的高能离子增多和轰击被镀基片的高能电子的减少。
平面磁控溅射的优点：1.靶功率密度可到 12W／cm2。
2.靶电压可到600V，
3.气体压强可到到0.5Pa。
平面磁控溅射的缺点：
靶材在跑道区形成溅射沟道，整个靶面刻蚀不均匀，靶材利用率只有20％～30％。
二．射频（RF）溅射
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&&直流磁控溅射，电压没问题，电流机会为零，是什么原因？
直流磁控溅射，电压没问题，电流机会为零，是什么原因？
我在小木虫上找过，很多人都说是由于断路的原因，但是不知道还有其他原因么？
另外，由于本人首次接触，而且对也不懂原理（刚学，很多都不懂），不知道大家所说的断路是指哪儿断路呢？
怎么解决？
非常感谢大家帮忙！
base vacuum是10的负五次方级别的，对于溅射真空度，我试了多了（最高都达到1pa了），电流基本没变化。。。
1. 我试过多个气体流量，均没能起辉（最高的溅射真空度都达到1pa了）；
2. 一直没有辉光，估计是由于电流上不去导致的。
请问还有没有其他可能性？
你说的断路是指什么河什么之间断路呢，
.........我试了多个（最高都达到1pa了）.......
你可以查一下起辉的具体的压强，貌似1Pa非常小起不了（以前有个老师教的），可以稍微关小一下出气孔的阀门，也就是把分子泵和chamber的阀门关小一些。但是气体别太多了，对分子泵不好。具体的条件可以一点一点的加，别加多。
真空度越高越不容易起辉
10pa～100pa是经常用的起辉真空度
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扫描下载送金币　　有许多客户会有这样的疑问，在金属生产过程中，怎样监控靶材用量?随着靶材变薄，电压是不是会降低?帮您解决这个问题。　　1. 靶材穿透 不等于 电极穿透。 靶材一般都是固定在(相对)厚金属(例如 Cu)电极上。　　2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响，靶材的消耗是不均匀的，基本成一个 环“U”状。“U”谷深度也不尽相同，存在一个薄弱点(最先穿透)。　　3. 穿透时电压、电流变化：主要视 (金属)靶材 、基座 的材料特性(原子序数、半径、电导率……)而有差异。　　4. 厚度监测：首先必须知道 初始靶材厚度，监测分两种： a. 直接法：打开机台，拆下靶材测量，绘出剩余靶材厚度分布图， b. 间接法：最大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度。 其中安全系数由a给出，或保守取值。山东专业制造中频磁控溅射电源，直流磁控溅射电源 - 电子元器 - 东楚网
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山东专业制造中频磁控溅射电源，直流磁控溅射电源
山东专业制造中频磁控溅射电源，直流磁控溅射电源。北京精益达明电子科技公司是一家专业生产开关电源及线性电源的高科技企业。创建多年,现有产品研发中心,品质及可靠性保证部等!电源是向电子设备提供功率的装置，也称电源供应器，它提供计算机中所有部件所需要的电能。电源功率的大小，电流和电压是否稳定，将直接影响计算机的工作性能和使用寿命。优质的电源一般具有FCC、美国UL和中国长城等多国认证标志。这些认证是认证机构根据行业内技术规范对电源制定的专业标准，包括生产流程、电磁干扰、安全保护等，凡是符合yi定指标的产品在申报认证通过后，才能在包装和产品表面使用认证标志，具有yi定的权威性。专业制造中频磁控溅射电源击穿时间：主要反映保护元件的特性.保护等级愈高，击穿时间愈长.击穿时间可在yi定范围内变化，依赖于du/dt或di/dt的斜率。短路保护：当被保护线路趋于短路，而产生大于5倍额定电流时，保护器切断该线路。开机延时：这是一种新的概念，电源在接通之初到提供稳定的输出必然需要yi定的时间的稳定周期，在这个周期中电压的稳定度很难保证，所以电源设计者让电源延时100ms-500ms，等电源稳定后再向电脑提供高质量的电源。山东中频磁控溅射电源在yi定程度上可以降低电源的自身功耗和发热量。击穿电压(Uaw,Ua)：击穿前能连续加在保护器指定端的zui高瞬间时电压值.过压保护在下列情况下被击穿： 如果流过电阻元件的电流峰值超过1mA; 如果过压引起流过保护器的电流峰值超过1mA.CCEE安全认证：CCEE安全认证标志又称长城标志，为电工产品专用认证标志。中国电工产品认证委员会(CCEE)是国家技术监督局授权直流磁控溅射电源输入侧电流失真度大，源功率因数较低;输出电压对输入电压有相移。对抗干扰功能要求较高的单位，在城市里应用为宜，计算机供电时，必须选用计算机总功率的2-3倍左右稳压器来使用。因具有稳压、抗干扰，响应速度快、价格适中等优点，所以应用广泛。输出电压精度高：一般的输出电压精度为±2～4%之间，有不少新型电源IC 的精度可达±0.5～±1%;并且输出电压温度系数较小可以利用非静电作用(简称为“非静电力”)使正电荷由电位较低的负极处经电源内部返回到电位较高的正极处，以维持两个电极之间的电位差，从而形成稳恒的电流。因此，直流电源是一种能量转换装置，它把其他形式的能量转换为电能供给电路，以维持电流的稳恒流动。同时为了企业在未来有进一步竞争的潜力，中国电源企业都加大研发的力度，增加研发人员。什么是额定功率?答：额定功率是指电源在稳定、持续工作下的zui大负载，额定功率代表了一台电源真正的负载能力，比如，一台电源的额定功率是300W，其含义是每天24小时、每年365天持续工作时，所有负载之和不能超过300W。但实际上，电源都有yi定的冗余，比如额定功率300W的电源，在310W的时候还能稳定正常工作，但尽量不要超过额定功率使用，否则可能导致电源或其他电脑部件因为过流而烧毁。
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