道尺和普通尺子图片的区别在哪

看不懂 你的問題&&是 W/L
中的 W 和 L 嗎 ?
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front end最小线宽0.5,back end最小线宽0.35吧
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motofatfat
& &谢谢。我问了一个同事,得到答案了。前道就是指contact之前的工艺,con之后的工艺就是后道。有时候为了一些目的会把两个不同的工艺合起来&&就有了前道后道的区分。
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& &是的,不过不同的工艺数据应该不一样吧
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front end晶體管閘極minmum width=0.5;back end晶體管閘極minmum width=0.35
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& &求解0.5 和 0.35具体指哪个值?谢谢
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MOS gate width
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特征尺寸,在某个工艺中所得达到的最小尺寸。一般front-end为poly的最小尺寸,back-end为metal或者contact等等的最小尺寸,
反正哪个层次的最小宽度最小,其值就作为特征尺寸,不同工艺的值对应的值不同,对应的层次也可能不同。&&
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