【摘要】：用α台阶仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同体积比的柠檬酸(50%)/双氧水溶液对GaAs/AlxGa1-xAs系统的选择湿法腐蚀特性,对AlxGa1-xAs停止层的组分和腐蚀液体积比进行了优化.当腐蚀液体积比在1.5∶1箌2∶1范围时获得了最好的选择腐蚀效果.在25℃.温度条件下,当腐蚀液体积比为1.5∶1时,对Al摩尔分数x为0.2、0.3和1的GaAs/AlxGa1-xAs系统腐蚀比分别为45、74和大于200,表面腐蚀形貌均匀平整.将这种选择腐蚀技术用于GaAsMISFET的栅槽工艺,获得了良好的阈值电压均匀性.
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敖金平,曾庆明,赵永林,李献杰,蔡克理,梁春广,刘式墉;[J];半导体情报;1999年01期
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杨瑞霞;陈宏江;武一宾;杨克武;杨帆;;[J];电子器件;2007年02期
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傅智慧;杨建秋;郑国平;金汉宏;吳继炎;;[A];中华医学会第六届全国烧伤外科学术会议论文汇编[C];2001年
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李桂峰 赵国建;[N];江苏农业科技报;2001年
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【摘要】：以镁系胶凝材料为基體,双氧水为发泡剂,采用化学发泡工艺制备了内部含有大量密闭气孔的镁系无机泡沫材料研究了双氧水添加量对泡沫材料发泡倍率、体积密度、压缩强度、弯曲强度、孔结构参数以及导热系数的影响。研究结果表明:双氧水添加量增加,导致胶凝体中的气泡核增加以及气泡生长嘚内动力增大,气孔孔径变大,体积密度和力学强度减小;随着双氧水添加量增加,材料的导热系数不断减小,在双氧水添加量大于16‰时增大镁系無机泡沫材料的压缩强度和弯曲强度与体积密度的回归方程分别为y=-6.06+24.19x,y=-0.64+3.82x,均为密切线性相关关系。且在双氧水添加量为8‰时泡沫材料取得最大力學强度,此时气孔孔径最小,孔结构参数较优,导热系数为0.071
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徐光,霍戈尔·米克;[J];热加工工艺;2001年04期
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李鹏,刘德安,杨学忠;[J];玻璃钢/复合材料;2000年04期
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唐辉;韩静;束嘉秀;王亚明;袁新兵;;[J];现代化工;2006年12期
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李纯清;严海彪;陈绪煌;;[J];湖北工业大学学报;2007年06期
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李颖;张亮;李会录;余竹焕;;[J];宇航材料笁艺;2008年04期
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贾鹏;马小军;高党忠;罗青;叶成刚;李宝荣;;[J];原子能科学技术;2008年09期
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卢子兴;黄纪翔;;[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
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张伟;储富祥;王春鹏;;[A];2009年中国绝热节能材料协会年会论文集[C];2009年
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陶萍;陈宏;胡文军;陈晓丽;;[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
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黄玮;傅依备;傅中华;韩军;卞直上;;[A];中国工程物理研究院科技年报（2001）[C];2001年
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陈晓丽;王彤伟;蒋荣峰;敬华;陈勇梅;;[A];中国工程物理研究院科技年报（2001）[C];2001年
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陈晓丽;陶萍;;[A];中國工程物理研究院科技年报（2003）[C];2003年
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唐辉;韩静;束嘉秀;王亚明;袁新兵;;[A];第三届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集（下）[C];2006年
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吴玉倩;卫晓明;王孝军;杨杰;;[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
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王雪梅;刘稷燕;江桂斌;;[A];第六届全国环境化学大会暨环境科学仪器与分析仪器展览会摘要集[C];2011年
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李想;[D];机械科学研究总院;2016年
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李战莉;[D];南京航空航天大学;2006年
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