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---信息产业
全球OLED设备制造商发展概况
供稿人：董瑞青
&供稿时间：&&&关键字：
OLED（有机发光显示器）是继CRT、LCD、LED及PDP（等离子显示屏）之后的新一代平板显示技术，具有显著的新兴产业特征。OLED是利用有机半导体材料在电场作用下发光的显示技术，是一种新型的纯固体（CRT和PDP等离子都拥有真空技术，LCD液晶则拥有液态技术）显示技术，兼具CRT和LCD两种显示技术的优势，具有自发光（无需背光源）、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等优点，被誉为“梦幻般的显示技术”（见表1和表2）。OLED两大主要应用市场为显示和照明，其中又以显示应用发展较为快速。当前，OLED显示技术要对市场产生真正的影响还需要克服一些挑战。首先，OLED显示屏制造工艺还不成熟，大尺寸屏难以量产。随着OLED显示屏尺寸的加大，成品率损失和制造损失也越来越大。其次，OLED显示屏材料的使用寿命仍需要进一步提高。
按驱动方式分类，OLED器件又可分为无源驱动（又称被动驱动，PMOLED）与有源驱动（又称主动驱动，AMOLED）。PMOLED器件不采用薄膜晶体管（TFT），一般适用于中小尺寸显示。AMOLED器件适用于中大尺寸显示，特别是大尺寸全彩色动态图像显示。与PMOLED相比，通常说的新型显示指的是AMOLED，其具有反应速度较快、视角较广等特点，有更大的应用领域。相比于传统的TFT-LCD液晶面板而言，AMOLED面板有着机体薄、对比度高、色彩丰富、分辨率高、视角宽广、耗电量低等诸多优点。另外，由于OLED面板内没有液体分子，其抗震性能更好、耐低温、结实耐用。同时，与毫秒级响应的TFT-LCD面板相比，AMOLED面板的响应时间是其几千分之一，不会出现拖尾和动态画面抖动的问题。因此，AMOLED已被业内共识为“新型平板显示技术”。目前中小尺寸AMOLED面板在高端手机上的应用已成定局，但在大尺寸电视方面还不足以产生革命。2011年OLED技术进展快速，而2012年将是AMOLED量产技术达到成熟并应用到大型化面板量产的开始｡未来十年内，OLED技术将持续蓬勃发展，尤其在有机发光材料、有机材料镀膜、电路驱动方式与封装等技术上都有很好进展。虽然目前OLED最大量产玻璃基板为5.5代，而5.5代以上的量产成本结构尚不明确，但随着AMOLED技术的逐渐成熟稳定，AMOLED面板制造商将开始导入量产于大尺寸应用上。
表1 OLED与LCD（液晶显示器）比较
OLED显示产品技术优势
视角宽，侧视画面色彩不失真。
微秒（μs）
毫秒（ms）
更适合播放动态图像，无拖尾现象。
无需背光源，器件更薄，对比度更高，色彩更鲜艳。
高低温性能更优越，适应严寒等特殊环境。
资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理
表2 OLED与LED（发光二极管）比较
OLED显示产品技术优势
OLED更轻薄，并可用于高分辨率显示，如手机屏、电脑显示器、电视机等。而LED只用于户外大屏幕显示。
与像素间距
显示屏厚度
资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理
一般而言，OLED制造设备主要包括：有机蒸镀和封装等无源有机发光显示（PMOLED）用关键设备，溅镀台、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、真空热蒸发系统（VTE）等AMOLED用薄膜晶体管（TFT）薄膜沉积设备，涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等AMOLED用TFT图形制作设备，退火炉、退火气体管道、激光退火设备等AMOLED用TFT退火设备，TFT电学测试设备、OLED光学测试设备等AMOLED用检测设备，激光修补机等AMOLED用缺陷检测修补设备等。如表3所示，全球OLED设备制造商主要包括日本Tokki、Ulvac、Evatech公司、Anelva Technix、岛津（Shimadzu）公司、精工爱普生（Seiko Epson）、凸版印刷（Toppan Printing）、大日本印刷（DNP），韩国Sunic system、Advanced Neotech System（ANS）、Doosan Engineering&Construction（斗山工程建筑公司）、Digital Optics &Vision（DOV）、Viatron科技（ViatronTechnologies）、STI公司、周星工程（Jusung Engineering）、McScience公司，美国科特•莱思科（Kurt J.Lesker）、Rolltronics公司、整体视觉（Integral Vision）公司、MicroFab公司，德国爱思强股份有限公司（Aixtron AG）、M布劳恩（Mbraun）公司，荷兰OTBv公司等。
表3 全球OLED设备制造商一览表
大规模及中小规模OLED显示器制造设备系统（包括真空蒸镀设备、全自动封装系统等），等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备等。
爱发科（Ulvac）公司
OLED真空蒸镀设备（真空泵，低温泵和低温冷却器，仪表及阀门，真空镀膜设备等），等离子体化学气相沉积设备（PCVD），溅镀台等。
Anelva Technix
物理气相沉积（PVD）设备等。
凸版印刷（Toppan Printing）
OLED用彩色滤光片、蚀刻设备等。
大日本印刷（DNP）
OLED用彩色滤光片等。
Evatech公司
清洗机，显影机，刻蚀机，OLED用蒸镀设备，OLED玻璃基板等。
岛津（Shimadzu）公司
质谱仪（如MALDI-TOF MS系列），平板式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备等。
精工爱普生（Seiko Epson）
喷墨打印机等。
Advanced Neotech System（ANS）
薄膜封装设备等。
Sunic System
OLED蒸镀设备等。
Doosan Engineering&Construction
（斗山工程建筑公司）
OLED用气相沉积设备和密封设备等。
Digital Optics &Vision（DOV）
OLED真空蒸发器，OLED封装设备，有机材料净化器等。
Viatron科技（ViatronTechnologies）
增强型快速热处理设备（FE-RTP），低压化学气相沉积设备（APCVD），炉管系统等。
OLED玻璃表面清洁设备，OLED暗盒清洁设备，蚀刻设备等。
周星工程（Jusung Engineering）
OLED照明用蒸镀设备，OLED显示器用封装设备等。
McScience公司
OLED用测试设备（如M6000，M6100等），OLED用检查设备（如M7000），OLED面板老化测试设备（如M2000，M2500）等。
亚太系统公司
（Asia Pacific Systems Incorporated）
AMOLED用准分子激光退火设备（ELA）等。
UNITEX公司
OLED蒸镀设备、封装设备等。
Litrex（现为日本Ulvac控股公司）
高精密度工业喷墨打印机等。
科特?莱思科（Kurt J.Lesker）
薄膜沉积设备（包括物理气相沉积设备PVD，化学气相沉积设备CVD），蒸镀材料（如高纯度金属或合金丝线，铝蒸镀材料），热蒸镀及电子束蒸镀源，真空法兰等。
Rolltronics公司
柔性薄膜微开关背板阵列FASwitch等。
整体视觉（Integral Vision）公司
平板显示器用检查设备（如IVSee，SharpEye）等。
MicroFab公司
喷墨打印（Ink-jet）整机设备（如JetLab系列打印机）及关键组件（如喷头，喷头电控制器）等，是全球喷墨打印技术的领导者。
爱思强股份有限公司（Aixtron AG）
有机气相沉积（OVPD）设备等。
M布劳恩（Mbraun）公司
OLED用薄膜沉积设备，真空蒸发镀膜设备及真空舱等。
制造OLED显示器所需的内嵌式生产设备（如PCAP20，PCAP48等）及薄膜封装设备等。
倍强科技（Branchy Technology）
OLED蒸镀设备（如电子枪蒸镀设备）等。
资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理
参考文献：
[1] Tokki、Ulvac、Evatech公司、Anelva Technix、岛津（Shimadzu）公司、精工爱普生（Seiko Epson）、凸版印刷（Toppan Printing）、大日本印刷（DNP）等企业网站。
[①] 严格意义上的LED电视是指完全采用LED（发光二极管）做为显像器件的电视机，一般用于低精度显示或户外大屏幕。目前中国大陆地区家电行业中通常所指的LED电视严格的名称是“LED背光源液晶电视”，是指以LED做为背光源的液晶电视，仍是LCD的一种。它用LED光源替代了传统的荧光灯管，画面更优质，理论寿命更长，制作工艺更环保，并且能使液晶显示面板更薄。
OLED蒸镀设备是OLED制造过程中的核心设施。它是把蒸发源的有机物加热蒸镀到基板上的设备。
日本岛津公司质谱仪是用来对OLED发光材料（如小分子材料）进行结构分析的仪器。
2010年，日本爱普生公司发明了一种叫做喷墨均一成膜的新技术，这种喷墨技术，可以使有机材料均匀沉积，意味着大屏幕OLED电视具备了实施量产的条件。使玻璃底板上的有机材料形成均匀薄膜层的工艺，是生产OLED电视的关键要素。目前，真空热蒸镀（VTE）是应用最为广泛的一种技术。采用该技术的工艺流程必须在真空室中进行，要求紧邻玻璃底板放置一块遮光板，用以确定底板上沉积材料的图样。然而，真空热蒸镀技术在生产大屏幕OLED电视方面存在几大缺陷。比如，遮光板极易受工艺流程中的高温环境影响而发生偏移，导致很难在大尺寸底板上保持均匀的沉积率。喷墨印刷技术可以通过液态有机材料的均匀沉积形成薄膜层，因此，这种技术在理论上能够更好地解决大显示屏的尺寸问题。爱普生采用了与喷墨打印机相同的按需喷墨工艺，可以精确地按所需量将有机材料沉积在适当位置。由于喷墨系统对材料的利用率非常高，因此，制造商可以降低生产成本。此外，当应用于OLED电视生产流程时，由于无需使用遮光板，其工艺步骤将少于真空热蒸镀技术，因此，喷墨技术将有望大幅提高产量。
目前，喷墨打印技术是制备OLED面板的主流技术。喷墨打印技术能有效解决大尺寸OLED面板制造中的有机材料均匀度问题。
FASwitch（flexible array switch）是一种用于置换液晶面板等的开关器件里使用的薄膜晶体管TFT的器件。与现有TFT相比，FASwitch可以实现低成本大批量生产，如它不需要昂贵的真空制膜设备，而且超净室的清洁度要求也比生产TFT工厂低2-3个数量级，因此，有望大幅度削减早期的设备投资。与现行TFT是电子开关不同，FASwitch是机械开关，它是利用静电作用使背面的薄膜基板产生机械运动的原理：当带有电极的前面基板和背面的薄膜之间是相互分离时，开关处于断开状态；当背面薄膜基板受静电作用发生凹陷并与前面基板相接触时，则开关处于接通状态。在显示器里，正是利用这样的机械开关实现并控制各像素的接通或关断。Rolltronics公司是位于美国硅谷的一家高科技公司。
德国爱思强股份有限公司（Aixtron AG）是全球半导体行业领先的沉积设备供应商，也是世界上最大的MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备生产商。2011年，爱思强公司营业收入高达8.62亿美元。爱思强公司主要产品包括MOCVD设备，原子层沉积（ALD）设备，原子层气相沉积（AVD）设备，化学气相沉积（CVD）设备，有机气相沉积（OVPD）设备，碳纳米管和纳米光纤生产设备，半导体纳米导线设备等。其中，MOCVD设备是半导体照明（LED）产业外延芯片制造的关键核心设备，这一设备长期以来被德国爱思强Aixtron和美国VEECO所垄断。MOCVD设备是中国LED产业发展的瓶颈。目前，中国大陆有近20家企业在研发MOCVD设备，并且部分企业已经有了一定进展。如青岛杰生电气有限公司、江西南昌黄绿照明公司均已研制成功GaN（氮化镓）基MOCVD设备。目前，国产MOCVD设备面临的最大问题是设备的推广使用：首先，市场环境差，国产MOCVD设备生不逢时，前两年LED产业投资过热，企业进行大规模投资，目前包括三安、德豪润达等在内的大企业，其设备开工利用率不足30%，消化目前的产能需要2-3年的时间，因此，未来几年，国产MOCVD设备推广前景并不乐观。其次，设备关键零配件采购成本高。由于我国基础工业落后，部分关键零配件需要进口，大大增加了国产设备的拥有成本。最后，国内厂商的自轻心理，不相信国产设备的品质，也阻碍了国产设备的推广。
荷兰OTBv公司全称为“OLED Technologies B.V.”（简称OTBv），是OTB集团的子公司。OTBv公司所生产的内嵌式生产设备淘汰了绝对无尘室，实现了生产单件OLED产品时，在较短时间内以最低操作要求取得高产量的目标，从而大大降低了生产成本和前期投入。
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ZeissJena）是一家制造光学系统、工业测量仪器和医疗设备的德国企业，且是制造相机镜头的世界级企业。卡尔蔡司镜头的历史起始于1890年，发明叫作Anastigmat的散光补偿镜头而启开。之后，卡尔蔡司作为150年传统的镜头企业来，在医学系列、双眼镜、相机镜头、扩大镜、眼镜、天象仪等光学设备领域里扬名海外。主要产品：各类显微镜，诊断与治疗仪器、测量机、消费光学产品等。产品应用领域：半导体领域、医疗系统、显微镜、工业测量技术、电子光学系统、消费光学产品.4、美国FEI简介：FEI 是一家生产、经营多种科学仪器的业内领先企业，为全球纳米技术团体提供世界级的显微镜学解决方案。FEI NanoPorts 在中国上海，美国俄勒冈州波特兰，日本东京，荷兰埃因霍温和捷克均有设点。本公司有近 1800 名员工，已在全球超过 50 个国家或地区开展了销售和服务业务。主要产品：透射电子显微镜 (TEM)、扫描电子显微镜 (SEM)、DualBeam 仪器、专用聚焦离子束仪器等。产品应用领域：工业和理论、材料研、、生命科学、半导体、数据存储、自然资源等。5、赛默飞世尔科技简介：赛默飞世尔科技是全球科学服务领域的领导者（纽约证交所代码：TMO），公司在50个国家拥有员工约50,000人。公司借助于Thermo Scientific、Life Technologies、Fisher Scientific和Unity(TM) Lab Services四个首要品牌，帮助客户解决在分析化学领域从常规的测试到复杂的研发项目中所遇到的各种挑战。Thermo Scientific能够为客户提供一整套包括高端分析仪器、实验室装备、软件、服务、耗材和试剂在内的实验室综合解决方案。Fisher Scientific为卫生保健，科学研究，以及安全和教育领域的客户提供一系列的实验室装备、化学药品以及其他用品和服务。Thermo Fisher Scientific将努力为客户提供最为便捷的采购方案，为科研的飞速发展不断地改进工艺技术，提升客户价值，帮助股东提高收益，为员工创造良好的发展空间。主要产品：其旗下传承品牌众多，共有一百多种。在中国的主要有原奥立龙（Orion）、戴安、优特（Eutech）、芬兰雷勃(Finnpipette)、菲尼根质谱、尼高力红外光谱、Elemental原子光谱、HyClone细胞培养与生物反应器、Dharmacon RNA干扰(RNAi)研究、ABgene 核酸扩增及生物保存、Pierce蛋白质研究、丹麦Proxeon、Forma Scientific, Heraeus, Revco, Labsystems 等实验室通用设备耗材、Nunc,Nalgene与细胞培养相关之设备与耗材、Shandon, Microm 病理实验室设备与耗材、Oxoid, Remel微生物产品 以及Fisher Scientific旗下的实验室设备hamiltonscientific、家具与耗材等等。产品应用领域：科学研究、实验室建设、环保和工业。6、岛津简介：岛津企业管理（中国）有限公司成立于日，是岛津制作所的海外子公司。岛津制作所是著名的测试仪器、医疗器械及工业设备的制造厂商，以光技术、X射线技术、图像处理技术这三大核心为基础，不断革新，不断挑战，一如既往地对科学技术发展做出贡献。2002年岛津制作所的田中耕一荣获诺贝尔化学奖，开创了公司研究人员获奖的先河。岛津企业管理（中国）有限公司在全国有13个分公司，5个分析中心，60多个技术维修点。主要产品：高性能色谱仪、光谱仪、元素和表面分析系统、环境监测仪、材料试验机、无损检查装置、电子天平等品种众多的分析检测仪器。产品应用领域：临床医学、法医学、电子工业、环境、食品、饮料、机械、自动化、石油化工、化学、制药、生命科学等。7、是德科技公司简介：是德科技公司（NYSE：KEYS）是全球领先的电子测量公司，与惠普和安捷伦一脉相承，，公司拥有 9,500 名员工，遍及全球 100 多个国家，为客户提供卓越服务。是德科技公司的业务起源于美国惠普公司，是惠普公司电子测量集团1999年经重组成为安捷伦科技、2014年再次分拆上市而成立的一家高科技跨国公司。是德科技(中国)有限公司为是德科技公司在中国的分支机构，总部设在北京，在上海、深圳、广州、成都等地设有多家分公司。现有员工800多名，业务涉及电子测量仪器、系统和相关软件，软件设计工具和服务等。主要产品：示波器、分析仪、仪表、信号发生器、信号源、电源、软件、PXI / AXIe / DAQ 及 模块化解决方案、射频和微波测试附件、光学测试与测量产品、原子力显微镜和纳米压痕仪、显微镜、定位和光学、单片激光合路器与精密光学产品、毫米波和微波器件等。产品应用领域：航天航空、国防、汽车、电子电器、通信、能源、教学科研等。随着中国科技实力的发展，国内也开始涌现一批高水平的分析设备制造商。以下是国内较为知名的分析设备制造商：1、北京中科科仪股份有限公司（KYKY）简介：曾承担过多项重要科研及支撑攻关项目，多次荣获国家、科学院等相关部门奖励，成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪等。主要产品：系列分子泵、离子泵等高真空获得产品；系列氦质谱检漏仪等真空检测产品；超高真空环境模拟设备、镀膜生产线等真空应用设备；扫描电子显微镜、四极质谱、13C呼气质谱仪等分析仪器。产品应用领域：基础科学研究、现代高新技术产业工艺过程、先进装备制造、新能源材料、节能环保等领域。2、丹东浩元仪器有限公司简介：丹东浩元仪器有限公司是X射线衍射仪专业生产企业，衍射仪国家标准制定单位。国家高新技术企业，2012年国家重大科学仪器设备开发项目“高端多功能X射线衍射仪开发”牵头单位。主要产品：X射线衍射仪和X射线荧光光谱仪两种大型分析仪器。应用领域：仪器广泛应用于化学、化工、机械、地质、矿物、冶金、建材、陶瓷、石化、药物及等材料研究等领域。3、北京普析通用仪器有限责任公司简介：一家集科学仪器研发、制造、销售为一体的现代化高新技术企业，创立于1991年，经过二十年的艰苦奋斗和不断创新，已成长为面向国内、国际市场，拥有先进的生产、检测、试验设备，产品品种相对齐全、技术先进、服务优秀的同行业领先企业。主要产品：光谱仪、色谱仪、质谱仪、X射线类、医疗专用仪器、前处理设备、移动监测车等。应用领域：各行各业的监督检测机构。4、鲁南瑞虹化工仪器有限公司简介：原化工部定点的大型精密分析仪器专业生产厂家，公司集产品设计、开发、生产、销售、服务于一体，是色谱仪国内三大主要生产厂家之一。主要产品：SP系列气相色谱仪、LC系列液相色谱仪、RZF-3000型热解组分仪、YY-3000型油岩综合评价仪、QT-3000型轻烃分析仪、SP-9890型变压器油分析仪、MK-2000型煤矿井下气体自动监测系统、K-6000型煤炭自燃特性分析仪、SP-9890II型气相色谱仪、WLS-2010型微量硫分析仪、RLZ-8800型燃料在线自动分析仪应用领域：各大专院校、科研院所及制药、酿酒、化工、石油、农药、商检、公安、环保及食品检验等各个领域。5、上海科创色谱仪器有限公司简介：上海科创色谱仪器有限公司是上海大学（原上海科技大学）在1992年由上海市科委、上海市教委资助下创办的上海市高新技术企业，旨在将三十多年来在气相色谱技术方面的科研成果转化成科技产业并不断发展和提高。目前生产的主要定型产品有：其产品性能优良、价格便宜、服务周全。主要产品：各类气相色谱仪、HL-800二次热解吸仪、高纯氧分析进样器、918型色谱数据处理机、色谱工作站、氮、氢、空气体发生器。应用领域：各行各业的监督检测机构。6、安合盟科技发展有限公司简介：安合盟（天津）科技发展有限公司坐落于天津高新技术产业园区内，是一个锐意进取的高科技创新型企业，也是重点研发、生产、销售教学仪器、分析仪器、药典仪器的专业公司。主要产品：红外分光光度计、傅里叶红外光谱仪、粉末压片机、紫外分光光度计、液相色谱仪、气相色谱仪、原子吸收分光光度计、激光拉曼光谱仪、椭偏仪、光学平台、迈克尔逊干涉仪、澄明度检测仪、片剂 脆碎度检测仪、片剂硬度测试仪、透明度测试仪、电动搅拌器、磁力搅拌器、真空恒温干燥箱等物理光学仪器、分析仪器、生化仪器等应用领域：石油化工、药品检测、生化实验等领域实验室。7、滕州市滕海分析仪器有限公司简介：滕州市滕海分析仪器有限公司（原滕海分析仪器厂），是国内久负盛名的高科技企业，专业开发和制造分析仪器已有二十多年的生产历史。主要产品：气相色谱仪、液相色谱仪、在线色谱仪、微量硫分析仪、多维色谱、自动进样器、气体发生器等，兼营色谱配件及顶空进样器、油岩热解综合评价仪、地化录井仪等十几个系列，十几种品种。应用领域：电力监督、石油化工、质量监督检验、环境检测、科研院所、大专院校、卫生防疫、酿造、粮油等诸多行业。8、浙江福立分析仪器有限公司简介：一家集科学仪器研发、生产、销售、服务于一体的现代化企业，也是浙江省首批被评为高新技术的民营企业。GC97系列气相色谱仪已实现全国销量第一，年销售量突破1500台，占国内市场12%的占有率。主要产品：气相色谱仪、高效液相色谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光谱仪等。应用领域：石油化工、环境保护、食品安全、质检、精细化工、制药等行业。9、上海天美简介：上海天美由上海天美科学仪器有限公司和上海天美生化仪器设备工程有限公司组成，它们都是天美（控股）有限公司的独资子公司。天美（控股）有限公司是一家在新加坡上市的从事分析仪器和生化仪器的研发、生产、销售、服务的专业公司，2011年在香港联交所主板上市，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美（控股）积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。主要产品：气相色谱仪、液相色谱仪、离子色谱仪、紫外/可见分光光度计、原子吸收分光光度计、自动电位滴定仪，水分滴定仪等分析仪器产品系列，以及生物安全实验室（3级）、离心机、酶标仪、洗板机、超微量核酸蛋白测定仪等生化产品系列。<span style="line-height: 21 font-family: 黑体; font-size: 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