半导体硅片的化学清洗技术_百度文库
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半导体硅片的化学清洗技术
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你可能喜欢[供应]& 半导体类清洗剂、电镀除蜡剂、芯片清洗液、晶圆高纯显影液分析
塍田化学科技（上海）有限公司
公司介绍：
腾田化学主要利用逆向工程分析技术，为化工厂家提供新产品开发支持与帮助，专业从事化工材料成分分析、配方还原、新材料开发整套技术解决方案一站式服务。助力企业研发，有效缩短企业研发周期。公司坐落于复旦大学国家科技园，拥有大批来自复旦大学、华东理工、东华大学、上海石油商品应用研究所等背景，且在多个研发领域的资深专家团队，依托复旦大学检测中心、东华大学检测中心尖端检测仪器，完善的标准图谱库、强大的原材料库，自身长期产品研发经验，彻底解决了化工领域如金属表面处理剂、清洗剂、金属加工液、橡胶、塑料、胶黏剂、涂料、油墨、水处理药剂、建筑类添加剂、纺织印染助剂、脱模剂、阻焊剂、等十几个领域产品的配方改进、新产品开发的切实问题；
多年研发经验积淀的腾田化学不断努力，不断推进国内企业经济转型，结构调整，通过不断技术革新，促进民族企业良性发展，力争企业价值最大化！
录入时间：
国家/地区：
上海市杨浦区国宾路18号
邮政编码：
电子邮箱：
公司网站：
产品信息介绍
半导体类清洗剂、电镀除蜡剂、芯片清洗液、晶圆高纯显影液分析&[日用化学品]
产品介绍：
光学玻璃为高浓缩型清洗剂，由多种进口有机物，表面活性剂，无机盐等经科学的工艺配制而成。对各种光学玻璃镜片表面所粘附的污物，油污、蜡、炭黑、蜜腊等残留物及氧化铈，环氧树脂等均有极强的去除力，且极易漂洗。本品对各类软硬材质的镜片基本无腐蚀性，特别是对软材质的镜片极难产生潜伤，使用极具安全性。特点：1.洁净力强，不残留，易漂洗。2.环保型：不含硫、苯等有毒及腐蚀性物质。3.极易溶于水，不易挥发，无剌激性气味。4.对各种玻璃、金属、塑胶、纤维等均安全无腐蚀性。
产品价格：
价格单位：当前位置：
＞＞＞清洗和制绒是硅晶片制作的重要步骤之一，硅片化学清洗的主要目的..
清洗和制绒是硅晶片制作的重要步骤之一，硅片化学清洗的主要目的是除去硅片表面杂质（如某些有机物，无机盐，金属、Si、SiO2粉尘等）。常用的化学清洗剂有高纯水、有机溶剂、双氧水、浓酸、强碱等。其中去除硅的氧化物，通常用一定浓度的HF溶液，室温条件下将硅片浸泡1至数分钟。制绒是在硅片表面形成金字塔形的绒面，增加硅对太阳光的吸收。单晶制绒通常用NaOH，Na2SiO3等混合溶液在75～90℃反应25～35 min，效果良好。回答下列问题（1）能否用玻璃试剂瓶来盛HF溶液，为什么?用化学方程式加以解释&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&；（2）写出晶片制绒反应的离子方程式&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&，对单晶制绒1990年化学家Seidel提出了一种的电化学模型，他指出Si与NaOH溶液的反应，首先是Si与OH一反应，生成SiO44一，然后SiO44一迅速水解生成H4SiO4。基于此原理分析反应中氧化剂为&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&。（3）本校化学兴趣小组同学，为验证Seidel的理论是否正确，完成以下实验：&实验事实事实一水蒸汽在600℃时可使粉末状硅缓慢氧化并放出氢气。事实二盛放于铂或石英器皿中的纯水长时间对粉末状还原硅无腐蚀作用。事实三普通玻璃器皿中的水仅因含有从玻璃中溶出的微量的碱便可使粉末状硅在其中缓慢溶解。事实四在野外环境里，用较高百分比的硅铁粉与干燥的Ca(OH)2和NaOH，点着后焖烧，可剧烈放出H2。事实五1g（0.036mo1）Si和20mL含有lgNaOH（0.025mol）的溶液，小心加热（稍微预热），收集到约1700mL H2，很接近理论值（1600mL）。&结论：从实验上说明碱性水溶液条件下，H2O可作&&&&&&&&&&&&&&&&剂；NaOH作&&&&&&&&&&&&&&剂，降低反应&&&&&&&&&&&&。高温无水环境下，NaOH作&&&&&&&&&&&&&&剂。（4）在太阳能电池表面沉积深蓝色减反膜——氮化硅晶膜。常用硅烷（SiH4）与氨气（NH3）在等离子体中反应。硅烷是一种无色、有毒气体，常温下与空气和水剧烈反应。下列关于硅烷、氮化硅的叙述不正确的是&&&&&&&&&&&&&&&。A．在使用硅烷时要注意隔离空气和水，SiH4能与水发生氧化还原反应生成H2；B．硅烷与氨气反应的化学方程式为：3SiH4+4NH3＝Si3N4+12H2↑，反应中NH3作氧化剂；C．它们具有卓越的抗氧化、绝缘性能和隔绝性能，化学稳定性很好，不与任何酸、碱反应；D．氮化硅晶体中只存在共价键，Si3N4是优良的新型无机非金属材料。
题型：填空题难度：偏难来源：不详
（10分，除标记外，其余每空2分）（1）SiO2+4HF＝SiF4↑+2H2O（2）Si+2OH一+H2O＝SiO32-+2H2↑；NaOH；（3）氧化&&催化&&活化能&&&氧化（每空各1分）&&&&（4）C试题分析：（1）因为氢氟酸能和二氧化硅反应，从而腐蚀玻璃，反应的化学方程式为SiO2+4HF＝SiF4↑+2H2O，因此不能用玻璃试剂瓶来盛HF溶液。（2）硅单质能和氢氧化钠溶液反应生成硅酸钠和氢气，所以晶片制绒反应的离子方程式为Si+2OH一+H2O＝SiO32-+2H2↑；Si与OH一反应，生成SiO44一，这说明在反应中氧化剂应该是氢氧化钠。（3）水蒸汽在600℃时可使粉末状硅缓慢氧化并放出氢气，而普通玻璃器皿中的水仅因含有从玻璃中溶出的微量的碱便可使粉末状硅在其中，这说明在碱性水溶液条件下，H2O可作氧化剂。少量的氢氧化钠可以加快反应速率，这说明氢氧化钠通过降低反应的活化能，起催化剂的作用。在野外环境里，用较高百分比的硅铁粉与干燥的Ca(OH)2和NaOH，点着后焖烧，可剧烈放出H2，这说明在高温无水环境下，NaOH起氧化剂的作用，与硅反应放出氢气。（4）A、硅烷在常温下与空气和水剧烈反应，因此在使用硅烷时要注意隔离空气和水，这是由于SiH4能与水发生氧化还原反应生成H2，A正确；B、在反应3SiH4+4NH3＝Si3N4+12H2↑中，氨气中氢元素的化合价从+1价降低到0价得到电子，所以反应中NH3作氧化剂，硅烷是还原剂，B正确；C、氮化硅的性质稳定，但硅烷的性质很活泼，常温下与空气和水剧烈反应，因此选项C不正确；D、氮和硅都是非金属，因此氮化硅晶体中只存在共价键，Si3N4是优良的新型无机非金属材料，D正确，答案选C。
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据魔方格专家权威分析，试题“清洗和制绒是硅晶片制作的重要步骤之一，硅片化学清洗的主要目的..”主要考查你对&&碳单质及化合物，单质硅，硅酸盐，硅酸（原硅酸）&&等考点的理解。关于这些考点的“档案”如下：
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因为篇幅有限，只列出部分考点，详细请访问。
碳单质及化合物单质硅硅酸盐硅酸（原硅酸）
&碳：①元素符号：C②原子结构示意图：③电子式：④周期表中位置：第二周期ⅣA族⑤含量与存在：在地壳中的含量为0．087％，在自然界中既有游离态，又有化合态⑥同素异形体：金刚石、石墨、C60、活性炭碳（活性炭）：
①金刚石：纯净的金刚石是无色透明、正八面体形状的固体，硬度大，熔点高，不导电，不溶于水石墨：深灰色的鳞片状固体，硬度小，质软，有滑腻感，熔点高，具有导电性活性炭：黑色粉末状或颗粒状的无定形碳，疏松多孔，有吸附性 ②碳的化学性质： a.稳定性：在常温下碳的化学性质稳定，点燃或高温的条件下能发生化学反应 b.可燃性：氧气充足的条件下：C+O2CO2 氧气不充分的条件下：2C+O22CO c.还原性：木炭还原氧化铜：C+2CuO2Cu+CO2↑ 焦炭还原氧化铁：3C+2Fe2O34Fe+3CO2↑ 焦炭还原四氧化三铁：2C+Fe3O43Fe+2CO2↑ 木炭与二氧化碳的反应：C+CO2CO 二氧化碳：
&①物理性质：常温下，二氧化碳是一种无色无味的气体，密度比空气大，能溶于水。固态的二氧化碳叫做干冰。 ②化学性质： a.一般情况下，二氧化碳不能燃烧，也不支持燃烧，不供给呼吸，因此当我们进入干枯的深井，深洞或久未开启的菜窖时，应先做一个灯火实验，以防止二氧化碳浓度过高而造成危险 b.二氧化碳和水反应生成碳酸，使紫色石蕊试液变红：CO2+H2O===H2CO3，碳酸不稳定，很容易分解成水和二氧化碳，所以红色石蕊试液又变回紫色：H2CO3===H2O+CO2↑ c.二氧化碳和石灰水反应：Ca(OH)2+CO2====CaCO3↓+H2O d.二氧化碳可促进植物的光合作用：6CO2+6H2OC6H12O6+6O2③用途： a.二氧化碳不支持燃烧，不能燃烧，比空气重，可用于灭火 b.干冰升华时吸收大量的热，可用它做制冷剂或人工降雨 c.工业制纯碱和尿素，是一种重要的化工原料 d.植物光合作用，绿色植物吸收太阳能，利用二氧化碳和水，合成有机物放出氧气。
一氧化碳：
①物理性质：通常状况下，是一种没有颜色，气味的气体，比空气略轻难溶于水。②化学性质 a.可燃性：2CO+O22CO2b.还原性：一氧化碳还原氧化铜：CO+CuOCu+CO2 一氧化碳还原氧化铁：3CO+Fe2O32Fe+3CO2 一氧化碳还原四氧化三铁：4CO+Fe3O43Fe+4CO2 c.毒性：一氧化碳能与人体血液中的血红蛋白结合，使血红蛋白失去运输氧气的能力，造成机体缺氧。冬天用煤火取暖，如排气不良，就会发生煤气中毒，就CO中毒。CO重要来源是汽车尾气和煤，石油等含碳燃料的不完全燃烧。③用途：用作燃料，冶炼金属。 ④碳酸：弱酸，不稳定，易分解H2CO3==CO2↑+H2O 碳酸盐：
1.正盐与酸式盐的比较
2．酸式盐性质的一般规律 (1)在水中的溶解性：一般地，相同温度下，难溶性正盐的溶解度小于其酸式盐，可(易)溶性正盐的溶解度大于其酸式盐。如CaCO3，难溶于水，Ca(HCO3)2易溶于水；Na2CO3易溶于水，NaHCO3的溶解度比 Na2CO3的小。 (2)与酸或碱反应：强酸的酸式盐只与碱反应而不与酸反应；弱酸的酸式盐与足量强碱反应生成正盐，与足量强酸反应生成弱酸。 (3)热稳定性：一般地，热稳定性的大小顺序为正盐&酸式盐(盐的阳离子相同，成盐的酸相同)。 3．碳酸钙在自然界中存在广泛，是岩石的主要成分之一。不溶于水，但溶于酸。大理石、石灰石的主要成分是CaCO3，它们既是重要的化工原料，又是重要的建筑材料。其用途图示如下：&CO2气体与溶液的反应规律: 1．向某溶液中不断通入CO2气体至过量时，现象是“先产生白色沉淀，后沉淀逐渐溶解”(1)向澄清石灰水中不断通入CO2气体的反应为： Ca(OH)2+CO2==CaCO3↓+H2O CaCO3+CO3+H3O==Ca(HCO3)2(2)向氧氧化钡溶液中不断通入CO2气体的反应为： Ba(OH)2+CO2==BaCO3↓+H2O BaCO3+CO2+H2O==Ba(HCO3)2 (3)向漂白粉溶液中不断通入CO2气体的反应为： Ca(ClO)2+CO2+H2O==CaCO3↓+2HClO CaCO3+CO2+H2O==Ca(HCO3)2 2．向某溶液中不断通入CO2气体至过量时，现象为“产生白色沉淀或浑浊，沉淀或浑浊不消失” (1)在NaAlO2溶液中不断通入CO2气体至过量时，反应为： 2AlO2-+CO2(少量)+3H2O==2Al(OH)3↓ +CO32- 2AlO2-+CO2(过量)+2H2O==Al(OH)3↓ +HCO3-(2)向Na2SiO3溶液中不断通入CO2气体至过量时，反应为： SiO32-+CO2+H2O==H2SiO3↓+CO32-&SiO32-+2CO2+2H2O==H2SiO3↓+2HCO3-(3)向饱和Na2CO3溶液中不断通入CO2气体，反应为： 2Na++CO32-+CO2+H2O==2NaHCO3↓ 3．CO2与NaOH溶液反应后，溶液中溶质的判断将CO2气体逐渐通入NaOH溶液中，先后发生化学反应： ①CO2+2NaOH==Na2CO3+H2O ②CO2+Na2CO3+H2O==2NaHCO3 向一定量的NaOH溶液中通入CO2气体后，溶液中溶质的成分要根据NaOH与CO2的物质的量之比进行讨论。当时，发生反应①和②，溶液中的溶质为NaHCO3；当时，发生反应①，溶液中的溶质为 Na2CO3和NaOH；当时，发生反应①，溶液中的溶质为Na2CO3；当时，发生反应①和②，溶液中为Na2CO3和NaHCO3
碳酸氢盐与碱反应的规律及CO32- HCO3-的鉴别方法:
&1．酸式盐与碱反应时的产物要根据相对用量判断如Ca(HCO3)2溶液中滴加NaOH溶液： Ca(HCO3)2+NaOH==CaCO3↓+NaHCO3+ H2O(NaOH少量) Ca(HCO2)2+2NaOH==CaCO3↓+Na2CO3+ 2H2O(NaOH过量) 2．CO32-和HCO3-的鉴别 (1)利用正盐和酸式盐的溶解性可区别CO32-和HCO3-，如分别和BaCl2溶液反应，生成的BaCO3不溶，生成的Ba(HCO3)2易溶； (2)利用与H+反应产生CO2的快慢检验CO32-或HCO3-碳族元素：
1．在元素周期表中的位置及结构碳旌死素位于第ⅣA族，包括碳(C)、硅(Si)、锗(Ge)、锡(Sn)、铅(Pb)五种元素。最外层皆有4个电子，这种结构不易得电子也不易失电子，易形成共价键，难形成离子键。 2．主要化合价碳族元素的化合价主要有+2和+4，C、Si、Ge、Sn的+4价化合物较稳定，而Pb的+2价化合物较稳定。 3．氢化物、最高价氧化物及其对应的水化物氢化物：最高价氧化物：RO2；最高价氧化物对应的水化物为H2RO3、 H4RO4或R（OH）44．碳族元素的金属性与非金属性的递变规律由C至Pb，核电荷数逐渐增多，原子半径逐渐增大，原子核对最外层电子的吸引能力逐渐减小，失电子能力逐渐增强，得电子能力逐渐减弱，非金属性逐渐减弱，金属性逐渐增强。由碳族元素形成的单质中，碳、硅为非金属，但硅有金属光泽；锗、锡、铅为金属。硅：
①元素符号：Si②原子结构示意图：③电子式：④周期表中位置：第三周期ⅣA族⑤含量与存在：在地壳中的含量为26．3％，仅次于氧，在自然界中只以化合态存在⑥同素异形体：晶体硅和无定形硅硅的物理性质和化学性质：（1）物理性质：晶体硅是灰黑色，有金属光泽，硬而脆的固体，它的结构类似金刚石，具有较高的沸点和熔点，硬度也很大，它的导电性介于导体和绝缘体之间，是良好的半导体材料。 （2）化学性质：化学性质不活泼 ①常温下，除与氟气、氢氟酸及强碱溶液反应外，与其他物质不反应 (雕刻玻璃)②在加热条件下，能与氧气、氯气等少数非金属单质化合(4)制备：在电炉里用碳还原二氧化硅先制得粗硅：，将制得的粗硅，再与Cl2反应后，蒸馏出SiCl4，然后用H2还原SiCl4可得到纯硅。有关的反应为：。碳族元素中碳和硅的一些特殊规律:1.金刚石和晶体硅都是原子晶体，但金刚石不导电，晶体硅能导电．且金刚石的熔点(大于3550℃)比硅的熔点(1410℃)高；石墨是过渡型晶体或混合型晶体，也能导电。 2.碳和硅都能跟O2反应生成氧化物，碳的两种氧化物CO和CO2在常温下是气体，而硅的氧化物SiO2 在常温下是固体。 3.碳跟碱溶液不反应，而硅跟碱溶液能反应。 Si+2NaOH+H2O==Na2SiO3+2H2↑4．碳在高温时能跟水蒸气反应，而硅不能。 C+H2O(g)CO+H2 5．碳跟氢氟酸不反应，而硅能跟氢氟酸反应。 Si+4HF==SiF4↑+2H2↑ 6．碳能被浓硫酸(或浓硝酸)氧化生成二氧化碳，但硅不能被浓硫酸(或浓硝酸)氧化。 C+2H2SO4(浓)CO2↑+2SO2↑+2H2O C+4HNO3(浓)4NO2↑+2H2O+CO2↑ 7．碳和硅都具有还原性，且硅的还原性比碳强，但在高温时碳能把硅从SiO2中还原出来。 2C+SiO2Si+2CO↑ 8．碳的氯化物都不能自燃，而SiH4能自燃。 SiH4+2O2==SiO2+2H2O 9．通常情况下，周态CO、CO2都是分子晶体，熔、沸点都很低；而SiO2是原子晶体，熔、沸点较高。 10．CO2溶于水且能跟水反应生成碳酸，SiO2却不能. 11．CO2跟氢氟酸不反应，而SiO2能跟氢氟酸反应. SiO2+4HF==SiF4↑+2H2O 12．CO2跟碱溶液反嘘生成正盐或酸式盐，而SiO2 跟碱溶液反应只生成正盐。 CO2+2NaOH==Na2CO3+H2O CO2+NaOH==NaHCO3 SiO2+2NaOH==Na2SiO3+H2O13．在溶液中Na2SiO3可转变为Na2CO3，而在高温条件下Na2CO3又可转变为Na2SiO3。 Na2SiO3+CO2+H2O==Na2CO3+H2SiO3↓ Na2CO3+SiO2Na2SiO3+CO2↑
硅及其化合物的几种反常现象: 1．Si的还原性大于C，但C却能在高温下还原出Si 可从平衡移动的角度理解，由于高温下生成了气态物质CO2它的放出降低了生成物的浓度，有利于应反正向进行，故可发生反应：SiO2+2CSi+2CO↑ 2．部分非金属单质能与碱溶液反应，但其中只有 Si与碱反应放出H2 常见的非金属单质与碱溶液的反应有： Cl2+2NaOH==NaCl+NaClO+H2O① 3S+6NaOH2Na2S+Na2SO3+3H2O② Si+2NaOH+H2O==Na2SiO3+2H2↑③ 在反应①②中，Cl2、S既作氧化剂又作还原剂：在反应③中，Si为还原剂。 3．非金属单质一般不与弱氧化性酸反应，而硅不但能与氢氟酸反应，而且还会产生H2 4．硅酸不能由相应的酸酐与水反应制得制取硅酸的实际过程很复杂，条件不同可得到不同的产物，通常包括原硅酸(H2SiO4)及其脱水得到的一系列酸。原硅酸经两步脱水变为SiO2，SiO2是硅酸的酸酐，是一种不溶于水的同体，不能直接用它制备硅酸，用SiO2制取硅酸时，可先将SiO2溶于烧碱中，再向溶液中加入足量的盐酸或通入过量的CO2，析出的胶状物就是原硅酸，将原硅酸在空气中脱水即得硅酸，反应原理可理解为： SiO2+2NaOH==Na2SiO3+H2O Na2SiO3+CO2+2H2O==Na2CO3+H4SiO4↓ H4SiO4==H2SiO3+H2O 5．非金属氧化物的熔沸点一般较低，但SiO2的熔沸点却很高非金属氧化物一般为分子晶体，但SiO2为原子晶体。分子晶体中分子以分子问作用力相结合，而分子间作用力很弱，破坏它使晶体变为液体或气体比较容易；而在SiO2晶体中每个硅原子与四个氧原子相结合，形成硅氧四面体，在每个硅氧四面体结构单元中Si—O 键的键能很高，同时硅氧四面体结构单元可通过共用顶角氧原子连成立体网状结构，所以要使它熔融，必须消耗更多的能量，因此SiO2的熔沸点很高。 6．SiO2是酸性氧化物却能跟HF作用 SiO2+4HF==SiF4↑+2H2O，此反应并不是因为HF的酸性，而是因为为常温下SiF4为气态物质，有利于反应正向进行，这是SiO2的突出特性，当然也是HF 的特性。 7．H2CO3的酸性强于H2SiO3。但却能发生如下反应：Na2CO3+SiO2Na2SiO3+CO2↑ 强酸制备弱酸作为判断反应方向的依据，只适用于水溶液体系，而在非水溶液的条件下不一定适用，在高温下能发生反应：Na2CO3+SiO2Na2SiO3+ CO2↑的原因是H2SiO3难挥发，H2CO3易挥发，这符合高沸点物质制低沸点物质的反应规律，与此反应类似的还有： 2NaCl+H2SO4(浓)Na2SO4+2HCl↑ NaNO3+H2SO4(浓)NaHSO4+HNO3↑ 上述两反应并不是由于H2SO4的强酸性，而是由于H2SO4为高沸点酸，HCl、HNO3为低沸点酸。硅的用途：
高纯硅可作半导体材料，制造集成电路、晶体管、硅整流器等半导体器件，还可以制造太阳能电池。硅的合金用途也很广，如含硅4%的钢具有良好的导磁性，可用来制造变压器的铁芯；含硅15%左右的钢具有良好的耐酸性，可用来制造耐酸设备。 硅酸盐种类：①硅酸盐是构成地壳岩石的主要成分，其结构复杂，组成可用二氧化硅和金属氧化物的形式表示。例如：硅酸钠Na2SiO3(Na2O·SiO2)；镁橄榄石Mg2SiO4(2MgO·SiO2)；高岭石Al2(Si2O5)(OH)4(Al2O3·2SiO2·2H2O) ②云母、滑石、石棉、高岭石等，它们都属于天然的硅酸盐。 ③人造硅酸盐：主要有玻璃、水泥、各种陶瓷、砖瓦、耐火砖、水玻璃以及某些分子筛等。 ④硅酸盐制品性质稳定，熔点较高，难溶于水，有很广泛的用途。最简单硅酸盐是硅酸钠，其水溶液俗称水玻璃，是一种矿物胶，可作粘合剂，防腐剂。 硅酸钠：
（1）化学式：Na2SiO3 （2）俗称：其水溶液俗称水玻璃（3）物理性质：硅酸钠溶液是无色黏稠液体 （4）化学性质：①与盐酸反应 Na2SiO3+2HCl==== 2NaCl+H2SiO3(胶体) ②与CO2反应 NaSiO3+CO2+H2O ==Na2CO3+H2SiO3↓ ③与水发生水解反应硅酸钠溶液显碱性 （5）制备：SiO2+2NaOH== Na2SiO3+H2O （6）保存：试剂瓶不能配磨口玻璃塞（7）用途：常用于制备硅胶和木材防火剂等
①化学式：H2SiO3②俗称：硅酸干凝胶俗称硅胶③目前被确认的有正硅酸(原硅酸)H4SiO4(x=1，y=2)、偏硅酸H2SiO3(x=1,y=1)、二硅酸H2Si2O5(x=2，y=1)、焦硅酸H6Si2O7(x=2，y=3)。硅酸组成复杂，随条件而异。一般用通式xSiO2·yH2O表示，由于“H2SiO3”分子式最简单，习惯采用H2SiO3作为硅酸的代表。硅酸在水中溶解度较小，呈弱酸性。硅酸酸性比碳酸还弱，由反应可证明：④保存：密封保存硅酸的物理性质和化学性质：
（1）物理性质：不溶于水的白色沉淀原硅酸(H4SiO4)是白色胶状沉淀 （2）化学性质：①不稳定性：H2SiO3SiO2+H2O ②与强碱反应：H2SiO3+2NaOH== Na2SiO3+2H2O硅酸的用途：
用作气体的吸附剂，油脂和蜡等的脱色剂，催化剂载体，以及分析化学试剂等。
硅酸的制取：
由可溶性硅酸盐稀溶液和酸作用制得正硅酸的不稳定水溶液，失水成偏硅酸即通称的硅酸。放置能缩合成多分子聚合物称硅酸溶胶(mSiO2·nH2O)，简称硅溶胶，加热脱水可得硅胶(多孔SiO2含水4%)。由细孔球形硅胶用盐酸浸泡4～6h后用纯水洗涤，烘干72h，用纯水洗涤，再在70～80℃二次烘干制得。也可由硅酸钠与硫酸反应生成硅溶胶，经凝聚，一次洗涤，干燥，浓盐酸浸泡，二次洗涤，干燥而制得。
刚制得的硅酸是单个小分子，能溶于水，在存放过程中，它会逐渐失水聚合，形成各种多硅酸，接着就形成不溶于水，但又暂不从水中沉淀出来的“硅溶胶”。如果向硅溶胶中加入电解质，则它会失水转为“硅凝胶”。把硅凝胶烘干可得到“硅胶”。烘干的硅胶是一种多孔性物质，具有良好的吸水性。而且吸水后还能烘干重复使用，所以在实验室中常把硅胶作为干燥剂。
发现相似题
与“清洗和制绒是硅晶片制作的重要步骤之一，硅片化学清洗的主要目的..”考查相似的试题有：
38510729880769008302418296051298821}